扫描探针显微镜OLS4500

 
 
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品牌 奥林巴斯
品牌 奥林巴斯
产地 日本
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更新 2025-09-29 17:48
 
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东莞市天测光学设备有限公司苏州分公司

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OLS4500为您带来最新的解决方案


 

实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。


电动物镜转换器切换倍率和观察方法

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。


 

涵盖了低倍到高倍观察,并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此,先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法,可以容易的发现观察对象。此外,对于光学显微镜难以找到的观察对象,还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉(DIC 
观察中,可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。


明视场观察(IC元件)


微分干涉(DIC)观


激光微分干涉(DIC)观察


 

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

放置好样品后,所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速,正确的把观察对象移到SPM显微镜下面,所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。



 

一体机的机型,所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。


OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机,所以无需重新放置样品,即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能,所以能够高效输出最佳结果。


 

 

 

OLS4500实现了无缝观察和测量


 

 

  

【发现】可以迅速发现观察对象

 

使用光学显微镜的多种观察方法, 迅速找到观察对象

OLS4500采用了白色LED光源, 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜, 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长, 除了最常使用的明视场观察(BF)以外, 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比, 达到视觉立体效果的微分干涉观察(DIC), 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外, OLS4500上还配有HDR功能(高动态范围功能), 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成, 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。


BF
明视场
最常使用的观察方法。在观察中真实再现样品的 
颜色。适用于观察有明暗对比的样品。


DIC
微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差, 
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 
或异物等。


简易偏振光
照射偏振光(有着特定振动方向的光线), 使样 
品的偏光性变为肉眼可视。适用于观察金相组织、矿物、半导体材料等。


HDR
 高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成, 
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 
外,还可以强调纹理(表面状态),进行更精细的 
观察。

主机 规格

LSM部分

光源、检出系统



光源:405 nm半导体激光、检出系统:光电倍增管


总倍率



108~17,280X


变焦



光学变焦:1~8X


测量

平面测量

重复性

100x :   3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm




正确性

测量值的±2%以内



高度测量

方式

物镜转换器上下驱动方式




行程

10mm




内置比例尺

0.8nm




移动分辨率

10nm




显示分辨率

1nm




重复性

100x   :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm




正确性

0.2+L/100   μm以下(L=测量长度)


彩色观察部分

光源、检出系统


光源:白色LED、检出系统:1/1.8英寸200万像素单片CCD



变焦


码变焦:1~8X


物镜转换器



6孔电动物镜转换器


微分干涉单元



微分干涉滑片:U-DICR、内置偏振光片单元


物镜



明视场平面半消色差透镜5X LEXT专用平面复消色差透镜20X、50X、100X


Z对焦部分行程



76 mm


XY载物台



100 x   100 mm(电动载物台)

SPM部分

运行模式



接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*


位移检出系统



光杠杆法


光源



659 nm半导体激光


检出设备



光电检测器


最大扫描范围



X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm


安装微悬臂



在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整专用工装夹具预对位,更换支架时无需光学调整。

系统

总重量



约440 kg(不包含电脑桌)


I额定输入



100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60   Hz


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